Mitglied

Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik (IHM)

Universitäre Ausbildung und Forschung zu Basistechnologien der Halbleiter- und Mikrosystemtechnik, Photovoltaik, Sensorik und Aktorik

Das Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik wurde im Jahre 1990 an der Fakultät Elektrotechnik der Technischen Universität gegründet. Es vereinigt fünf Professuren, die Lehr- und Forschungsaufgaben in den Feldern Halbleiter-technik, Mikrosystemtechnik, Optoelektronische Bauelemente und Systeme, Polymere Mikrosysteme und Nanoelektronische Materialien wahrnehmen. Schwerpunkte liegen hier bei dem sog. Back-End-of-Line, bei modernen Beschichtungstechnologien für ultradünne funktionale Schichten, Beschichtungs-technologien auch für die Photovoltaik, der funktionalen Charakterisierung von Werkstoffen und Bauelementen, einschließlich organischer Transistoren, dem Entwurf von Mikrosystemen bis hin zur Herstellung von Sensoren und Aktoren auf der Basis anorganischer wie organischer Werkstoffe. Die personelle Verknüpfung mit dem FhG IPMS Dresden und der NaMLab gGmbH erweitern die Möglichkeiten in Forschung und Lehre beträchtlich.  

Kontakt:

IHM

Nöthnitzer Straße 64
D-01187 Dresden
Telefon: +49 351 4633-5292
Fax: +49 351 4633-7172
Ansprechpartner:
Prof. Dr. Johann W. Bartha
Email: johann.bartha(at)tu-dresden.de
Internet: www.ihm.tu-dresden.de