Mitglied

Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme (ENAS)

Smart Systems Integration, MEMS / NEMS, Waferbonden, gedruckte Funktionalitäten, Zuverlässigkeit, Charakterisierung und Test

Im Fokus der Fraunhofer-Einrichtung für Elektronische Nanosystem ENAS in Chemnitz steht die Forschung und Entwicklung auf dem Gebiet der Smart Systems Integration unter Nutzung von Mikro- und Nanotechnologien. Dabei spielen Multifunktionalität sowie die Implementierung verschiedener Bauteile (multi device), die ihrerseits aus verschiedenen Materialien (multi materials) bestehen, eine wesentliche Rolle. Die Integration von Nanomaterialien sowie gedruckter Funktionalitäten führt zu neuen Herausforderungen und verlangt neue Ansätze hinsichtlich Zuverlässigkeit, Test, Design und Sicherheit. Die Fraunhofer ENAS stellt sich diesen Herausforderungen. Die Kernkompetenzen der einzelnen Abteilungen umfassen insbesondere die Entwicklung von Mikro- und Nanosystemen (Silizium- und Nicht-Silizium-basiert), die Systemintegration, Technologien des Waferbondens, Zuverlässigkeitsanalysen, Metallisierung für Mikro- und Nanoelektronik / 3D-Integration, 3D-Interconnects, Modellierung und Analyse von EMC- und SI-Effekten sowie gedruckte Funktionalitäten. 

Kontakt:

Fraunhofer Institute for Electronic Nano Systems

Technologie-Campus 3
D-09126 Chemnitz
Telefon: +49 371 45001-0
Fax: +49 371 45001-101
Ansprechpartner:
Prof. Dr. Thomas Geßner
Email: info(at)enas.fraunhofer.de
Internet: www.enas.fraunhofer.de