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Elektronenstrahltechnologie, Puls-Magnetron-Sputtern und Plasma-aktivierte Hochratebedampfung
Das Fraunhofer FEP bearbeitet innovative Themenstellungen auf den Arbeitsgebieten der Vakuumbeschichtung und der Oberflächenbearbeitung und -behandlung mit Elektronen und Plasmen. Grundlage dieser Arbeiten sind die Kernkompetenzen Elektronenstrahltechnologie, Puls-Magnetron-Sputtern und Plasma-aktivierte Hochratebedampfung. Ziel ist, das Innovationspotenzial der Elektronenstrahl- und Plasmatechnik für moderne Produktionsprozesse zu erschließen und mit Praxisreife für unsere Kunden nutzbar zu machen.
Fraunhofer Institut für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik
Winterbergstraße 28
D-01277 Dresden
Telefon: +49 (0) 351 2586-0
Telefax: +49 (0) 351 2586-105
Prof. Dr. Eberhard Schultheiß
E-Mail: info@fep.fraunhofer.de
Internet: www.fep.fraunhofer.de